CTCI協助高科產業實踐循環經濟
—全台首例半導體廠內導入廢IPA提濃製程

— 資源循環事業群 信鼎 副總經理 陳育群

近年來，隨著人工智慧（AI）快速演進，帶動全球半導體需求持續攀升，在產能擴增下，製程中使用之異丙醇（IPA）等有機溶劑用量亦大幅增加。因應ESG永續發展趨勢，如何透過資源循環再利用技術，將製程廢溶劑有效處理，以提升原物料利用效率、降低廢棄物產生及減少碳排放，已成為半導體產業提升永續競爭力的重要方向。

本文特別分享，中鼎集團資源循環事業群旗下信鼎公司，如何以高科廢液回收再利用的豐富經驗與實績，成功攜手客戶打造全台首套半導體廠內IPA廢溶劑提濃系統。藉由此套系統，可將低濃度廢IPA初步提濃、後續再交由合格再利用廠商處理，大幅減少廢液體積及運送成本，提升資源循環利用率，達成節能減碳及廢棄物減量之目標。

中鼎集團旗下信鼎公司成立於1994年，為國內環保設施操作維護與營運管理的重要服務業者。三十餘年來，以環保設施為核心，深耕焚化、資源循環及污染防制等環境工程領域，具備完整的操作維護、製程優化及熱處理技術能力。

憑藉長期累積的環境工程經驗，信鼎具備廢溶劑回收處理設施之規劃、設計及建置能力，可依客戶製程需求規劃低濃度廢溶劑提濃回收系統，提升資源循環利用率，降低廢棄物處理成本及環境衝擊，協助客戶實現低碳製造、循環經濟及永續發展目標。

值得信賴的團隊

工程品質卓著深獲客戶肯定

信鼎於2018年協助集團旗下耀鼎公司建置廢溶劑純化再生系統，並持續投入相關技術與製程優化，為半導體產業提供廢IPA等廢溶劑回收再利用之整體解決方案，服務範疇涵蓋前期規劃、製程設計、設備建置、安裝施工、試車驗證及技術顧問等，累積豐富的設計、建置與操作實績。

本案於設計階段導入HAZOP（危害與可操作性分析）及LOPA（保護層分析）等製程安全評估方法，系統性辨識製程偏差、潛在危害及保護層有效性，並據以優化製程設計、安全儀表及操作策略，降低製程風險，確保系統符合高科技產業對製程安全與可靠性的要求；此外，針對廠區空間配置、消防防護、施工安全及施工期間對既有廠房營運影響等關鍵議題，亦透過結合製程、機電、消防、環安衛及工程管理等專業團隊，共同檢視設計方案與施工策略及風險評估，確保系統規劃兼顧法規符合性、製程安全、工程品質及功能需求。

本案施工階段秉持「如質、如期、如度」的工程管理目標，透過完善的施工規劃、工程品質管理、進度管控及成本控制，並結合嚴謹的工安管理，確保工程品質符合設計要求、施工進度如期達成及預算有效控管，順利完成專案建置。

在系統試車及正式運轉前，工程團隊依循製程安全管理（PSM）精神，及執行試俥前安全審查（Pre-Startup Safety Review, PSSR），逐項確認設備完整性、控制系統、安全防護及操作程序均符合設計要求，確保系統於正式投入運轉前已具備安全、穩定且可靠的運轉條件，以中鼎集團「最值得信賴的」工程品質順利完成設施建置，並順利於2024年5月正式運轉。

創新技術

超重力短床技術導入與系統最佳化設計

本案設計參考耀鼎既有廢IPA提濃系統之工程實績及操作經驗，並依據客戶廠區空間配置、建築景觀及製程需求進行系統最佳化。耀鼎既有系統採用高塔蒸餾設備完成10wt%（Weight Percentage, 即重量百分比）廢IPA提濃至80wt%，而超重力短床則主要應用於萃取破共沸製程；本案則將超重力短床技術延伸應用於低濃度廢IPA提濃系統，以取代傳統高塔設備，在滿足製程需求的同時，兼顧廠區空間配置及建築景觀要求。

超重力短床（Rotating Packed Bed, RPB），係利用旋轉填充床所產生之高重力場，提升汽液兩相接觸面積與傳質效率，使系統能以較小設備體積達成與傳統高塔蒸餾相當之分離效能。本案除滿足廢異丙醇提濃之製程功能需求外，亦以提升汽液傳質效率、優化廠房空間運用及提升系統操作彈性為設計核心，導入超重力短床提濃技術。相較於傳統蒸餾塔系統，其具備設備高度低、占地面積小、模組化程度高及啟停時間短等特性，可有效降低廠房空間需求，並提升設備配置與後續擴充彈性。

超重力蒸餾系統製程示意圖

專案亮點

全台首例半導體廠內IPA廢溶劑提濃系統

本案為全台首例半導體製程廠區導入廢IPA提濃製程之工程案例，突破傳統廢溶劑須外運處理之作業模式，協助客戶建立廠內提濃及廠外高純度純化再利用之一體化循環機制。系統可將製程產生約10wt%之廢IPA，經廠內提濃系統處理後，再委由耀鼎收受，進一步進行高純度純化及再生利用，形成涵蓋提濃、純化及回收再利用之一條龍資源循環服務模式。

此創新模式協助客戶大幅減少廢溶劑委外清運處理量，提升資源循環及整體經濟效益，同時降低危險物品運輸風險與碳排放，兼顧製程安全、環境保護及營運需求。透過本案之建置，成功建立半導體產業廠內廢溶劑回收再利用之工程案例，可作為未來高科技產業推動資源循環系統規劃、工程建置及技術導入之參考，為半導體產業推動循環經濟與永續發展提供具體工程示範。

耀鼎廠收受提濃後IPA進行純化與再生利用

經營團隊的話

循環經濟已成為高科技製造業提升永續競爭力的重要方向，而工程技術則是落實資源循環的關鍵。信鼎將持續投入廢溶劑回收再利用技術研發與工程創新，結合多年累積之設計、建置及操作經驗，協助客戶打造兼具安全、效率與環境效益之資源循環系統，實現資源永續利用，攜手產業共同邁向低碳製造與永續發展。